软件介绍
CasaXPS是一种XPS数据处理软件。
XPS即X射线光电子能谱分析（X—ray photoelectron spectroscopy)，是一种重要的材料表面表征技术。它不仅能为化学研究提供分子结构和原子价态方面的信息，还能为电子材料研究提供各种化合物的元素组成、化学状态、分子结构、等方面的信息。
目前，XPS 已成为一项必不可少的现代分析检测手段，其可以提供材料表面3~10 nm左右的元素组成及化学态信息，已被广泛应用于化学化工，材料，机械，电子材料等领域。
与其他表面分析手段俄歇电子能谱仪 (AES) 、二次离子质谱仪 (SIMS) 等相比，XPS的最大特点便是能获取丰富的化学信息，并且对样品表面的损伤最轻微, 定量分析效果较好。
通过XPS与离子刻蚀手段相结合，被广泛地应用于化学分析、材料开发应用研究、物理理论探讨等学术领域以及在机械加工、印刷电路技术、镀膜材料工艺控制、纳米功能材料开发等工业领域。
XPS首先是在二十世纪六十年代由瑞典科学家K.Siebabn 教授提出，原理基于光电效应，当一束特定能量的X射线照射到固体样品上时，便可将原子中的内层电子激发出来，激发出的光电子动能被能量检测器检测分析。
通过能量守恒方程即可求得样品中该电子对应的结合能。由于结合能是元素的指纹信息，当原子周围的化学环境发生变化, 元素内层电子结合能会随之变化。
因此可根据结合能变化推测元素的化学结合状态，即元素及化学态的定性分析。
然而，在实际表面分析研究中，我们不仅需要确定样品的元素种类及其化学环境，还需要求出其对应含量。在定量求取过程中，常常会遇到谱峰重叠的现象，这就要求我们对XPS数据进行准确分析。
下载说明
[软件名称]：CasaXPS XPS数据处理软件
[界面语言]：英文|中文
[安装环境]：Win7|8|10|11都适配
[系统位数]：32+64位
[下载链接]：见文末
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